超純水設備工藝流程：自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入EDI單元，拋光混床單元，EDI出水進入純水水箱，此時水質的電阻率是15兆歐，經過拋光混床后，產水電阻率達到18兆歐，但是不進入水箱，直接進入用水點。因為水箱中若出現產水滯留，會影響產水水質。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管，到達使用點。

       超純水設備一般包括石英砂濾器、活性碳濾器、阻垢劑、精密過濾器、RO反滲透主機系統、EDI電除鹽系統、離子交換混床系統等構成。